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PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機

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更新時間:2023-01-12 09:44:12瀏覽次數:301次

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產品簡介

簡要描述:PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵

詳細介紹

PCE-44-LD是一款小型紫外臭氧清洗機,可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質量。同時也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發出兩種波長的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變為臭氧,254nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

技術參數
電源

● AC 208~240V,單相 50/60Hz

紫外燈

● 可發出雙波長的水銀燈

● 功率:55W

● 發出光的波長:254nm 和185nm

● 使用壽命:2500 小時(可更換)

● 照射區域:100 x 100 mm

● 光照強度:4.6 mw/cm2

腔體 & 樣品臺

● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm

● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19

● 抽屜底座與紫外燈的距離:27mm

● 樣品臺與紫外燈的距離:8mm

應用

● 去除分子級別的污染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

環境要求

● 僅室內使用; 海拔高度在5,562英尺以內

● 溫度范圍41-104華氏度

● 大相對濕度80%,大87華氏度,104華氏度線性降至50%相對濕度

● 主電源波動不超過標稱電壓的10%

● 污染等級2; 臭氧水平(環境)測量<45 ppb

外形尺寸

● 240mm*200mm*152mm

凈重

4Kg

認證

CE認證

質保期

● 一年保修,終身技術支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

● 點擊查看售后服務承諾書。

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