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深圳市科晶智達科技有限公司


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GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

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更新時間：2023-01-11 10:04:25瀏覽次數：292次

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產品簡介

簡要描述：GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的較簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。

詳細介紹

功能特點
  • 設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。
  • 通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得the best
  • 鍍膜效果。
  • 鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
  • 陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
  • 根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
  • 已通過CE認證。
技術參數
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水不需要
電AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風裝置不需要
靶Ø45mm
真空室Ø160mm×120mm
MAX真空度≤4×10-2mbar
靶位3個
大電流50mA
可設定長時間900s
微型真空氣閥連接Ø3mm軟管
MAX電壓1600V DC
機械泵2L/s
可選配件金、銦、銀、鉑等各種靶材
標準配件1金靶材1個
2銀靶材1個
3鋁靶材1個
4進氣針閥1個
5保險絲2個


關鍵詞：減壓閥 工作臺

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