電熱蒸汽機的發展首先體現在功率和效率的提高，而這又主要取決于蒸汽參數的提高。初期蒸汽機的蒸汽壓力僅為0.11~0.13兆帕，19世紀初才達到0.35~0.7兆帕，20世紀20年代曾用到6~10兆帕。在蒸汽溫度上，19世紀末還不超過250℃，而到20世紀30年代曾用到450~480℃。

至于效率，瓦特初期連續運轉的蒸汽機，按燃料熱值計總效率不超過3%;到1840年，的凝汽式蒸汽機總效率可達8%;到20世紀，蒸汽機效率可達到20%以上。

電熱蒸汽機轉速

在轉速方面，18世紀末瓦特蒸汽機僅40~50轉/分;20世紀初轉速達到100~300轉/分，個別蒸汽機曾達到2500轉/分。在功率方面，初單機功率僅幾馬力，20世紀初的一臺船用蒸汽機的功率可達25000馬力。

隨著蒸汽參數和功率的提高，蒸汽已不可能在一個汽缸中繼續膨脹，還必須在相連接的汽缸中繼續膨脹，于是出現了多級膨脹的蒸汽機。蒸汽機因受到潤滑油閃點的限制，所用蒸汽溫度一般都不超過400℃，機車，船用等移動式蒸汽機還略低一些，多數不高于350℃?？紤]到膨脹的可能性和結構的經濟性，常用壓力在2.5兆帕以下。蒸汽參數受到限制，從而也限制了蒸汽機功率的進一步提高。